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石墨坩埚
配套设施
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<p><br/></p><p>石墨坩埚；工业炉用高纯石墨制品，可定制！</p>
发电机
配套设施
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<p><br/></p><p>备用电源：预防突然停电突发状况。</p>
气体净化器
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<p><br/></p><p>诺天科技气体净化器利用催化剂除去气体中的杂质氧气，再利用分子筛吸附脱除气体中的水和二氧化碳等杂质，即可得到提纯气体供用气设备使用。</p>
冷水机
配套设施
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<p><br/></p><p>采用封闭式纯水循环水冷系统。系统全部使用不锈钢管道和去离子水，不会产生水垢堵塞管道影响生产安全。可视化流量监控单元，每一路循环水均有流量检测及报警，可及时发现问题，减少故障影响及损失。</p>
封闭式冷却塔
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<p><br/></p><p>封闭式冷却塔装置分两个循环水系统，分别为内循环水系统和外循环水系统；在内循环水系统中，由水泵把热交换器输出侧和高位水箱中送来的纯水送到负载，以吸收负载在工作中产生的热量，再将纯水送到热交换器中与外循环水进行热量交换，将负载中的热量释放到外循环水中，释放热量后的纯水从热交换器输出侧回到水泵的输入侧和高位水箱中。</p>
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