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氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉

氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉


氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉为卧式中开门高真空感应炉,高温区加热,低温区气相沉积收集,应用于氧化亚硅等材料的高温制备及收集。

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氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉为卧式中开门高真空感应炉,高温区加热,低温区气相沉积收集,应用于氧化亚硅等材料的高温制备及收集。



产品介绍

氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉为卧式中开门高真空感应炉,高温区加热,低温区气相沉积收集,应用于氧化亚硅等材料的高温制备及收集。


型号

额定功率Kw

炉膛尺寸mm*mm

收集区容积L

最高温度

腔体数

控温精度

极限真空度

NTG-CJL-40W

40

Φ400*500

31.4

左边1400、右边1100

2

±1℃

10-3

NTG-CJL-60W

60

Φ500*1050

103

左边1400、右边1100

2

±1℃

10-3

NTG-CJL-120W

120

Φ600*2000

282.6

左边1400、右边1100

2

±1℃

10-3