氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉为卧式中开门高真空感应炉,高温区加热,低温区气相沉积收集,应用于氧化亚硅等材料的高温制备及收集。
产品介绍
型号
额定功率Kw
炉膛尺寸mm*mm
收集区容积L
最高温度℃
腔体数
控温精度
极限真空度
NTG-CJL-40W
40
Φ400*500
31.4
左边1400、右边1100
2
±1℃
10-3
NTG-CJL-60W
60
Φ500*1050
103
NTG-CJL-120W
120
Φ600*2000
282.6