碳化硅反应烧结炉是专门用于制备反应烧结碳化硅(RB-SiC)的高端热处理设备,通过硅熔渗(Silicon Infiltration)工艺,将多孔碳化硅素坯与熔融硅在高温下反应,形成高致密、高性能的SiC-Si复合材料。该设备广泛应用于半导体、航空航天等领域。